[18p-G201-1~16] SP6 集積化MEMSの発展と展望（集積化MEMS技術研究会発足１０周年記念シンポジウム）

[18p-G201-15] MEMS 振動子を用いた絶縁型電圧センサ

〇佐々木 実¹ (1.豊田工大)

キーワード：MEMS振動子、絶縁型電圧センサ、電池