[18p-P15-1~11] 22.1 Joint Session M "Phonon Engineering"

[18p-P15-3] Short Leg Effect of Silicon Nanowire Micro Thermoelectric Generator

〇Hiroki Takezawa¹, Yuya Himeda¹, Shuichiro Hashimoto¹, Shunsuke Oba¹, Ryo Yamato¹, Takehiro Kumada¹, Mao Xu¹, Kohei Mesaki¹, Motohiro Tomita^1,2,3, Tianzhuo Zhan¹, Takeo Matsuki^1,4, Takashi Matsukawa⁴, Takanobu Watanabe¹ (1.Waseda Univ., 2.Meiji Univ., 3.PD, 4.AIST)

Keywords:energy harvesting, Thermoelectric Generator, Silicon Nanowire

当グループでは、新しいSi-NW-μTEG(Micro Thermoelectric Generator)構造を提案し、10～100 nmの範囲において、Si-NWを短くすることで発電量が増加するという結果を得た。今回、Si-NWをさらにサブミクロンオーダーにまで短くすることで、発電パワーが大幅に増大することを確認した。