[18p-P15-1~11] 22.1 Joint Session M "Phonon Engineering"

[18p-P15-4] Impact of Film Quality of AlN Thermal Conductive Layer on the Thermoelectric Power of Silicon Nanowire Micro Thermoelectric Generator

〇Kohei Mesaki¹, Ryo Yamato¹, Tianzhuo Zhan¹, Shuichiro Hashimoto¹, Shunsuke Oba¹, Yuya Himeda¹, Takehiro Kumada¹, Mao Xu¹, Hiroki Takezawa¹, Kazuaki Tsuda¹, Takashi Matsukawa², Takanobu Watanabe¹ (1.Waseda Univ., 2.AIST)

Keywords:AlN, energy harvesting

熱電材料の性能を最大限に引き出すには、熱電変換部の温度差を大きくすることが重要であり、そのためには周辺の寄生熱抵抗の削減が必須となる。窒化アルミニウム（AlN）は、熱伝導率が高くSiと熱膨張係数が近いことから、Si-NWを用いたμTEGの熱伝導層材料の有力候補である。今回我々は、成膜条件が異なるAlNのN欠損密度を電子線マイクロアナライザを用いて調査し、μTEGの発電特性との関係を調査した。