13:30 〜 15:30
[18p-P2-10] 室温電子線照射によるSiO2膜／Si基板界面でのSi微細構造形成
キーワード：シリコン微細構造、電子線照射、シリコン酸化膜
講演情報
一般セッション(ポスター講演)
6 薄膜・表面 » 6.5 表面物理・真空
[18p-P2-1~10] 6.5 表面物理・真空
2018年3月18日(日) 13:30 〜 15:30 P2 (ベルサール高田馬場)
一般セッション(ポスター講演)
6 薄膜・表面 » 6.5 表面物理・真空
2018年3月18日(日) 13:30 〜 15:30 P2 (ベルサール高田馬場)
13:30 〜 15:30
キーワード：シリコン微細構造、電子線照射、シリコン酸化膜