[18p-P5-1~22] 12.6 Nanobiotechnology

[18p-P5-11] Investigation of Porous Alumina Molecular Flow Path Preparation for DNA Sensor Application

〇Arata Fujigaki¹, Shoko Ishizuka¹, Hiroshi Yamauchi¹, Yugo Okada², Masatoshi Sakai¹, Masaaki Iizuka³, Kazuhiro Kudo¹ (1.Graduate School of Engineering, Chiba Univ., 2.Center for Frontier Science, Chiba Univ., 3.Faculty of Education, Chiba Univ.)

Keywords:DNA Sensor, Porous Alumina, Si etching

本研究では、DNAセンサ応用に向けSiのテーパー状構造の作製および、ポーラスアルミナ分子流路作製方法の検討を行った。テーパー状構造作製の際、エッチング中のSiの上方からレーザー光を当て、その通過光を検出する方法を用いることで貫通確認を行った。また、ポリスチレン微粒子をAl上へ展開し、その上からTi堆積させ、規則的な凹凸テンプレートを形成することで、ポーラスアルミナの高規則化を試みた。