[18p-P5-1~22] 12.6 ナノバイオテクノロジー

[18p-P5-11] DNAセンサ応用に向けたポーラスアルミナ分子流路作製方法の検討

〇藤垣 新¹、石塚 笙子¹、山内 博¹、岡田 悠悟²、酒井 正俊¹、飯塚 正明³、工藤 一浩¹ (1.千葉大院工、2.千葉大先進科学センター、3.千葉大教育)

キーワード：DNAセンサ、ポーラスアルミナ、Siエッチング

本研究では、DNAセンサ応用に向けSiのテーパー状構造の作製および、ポーラスアルミナ分子流路作製方法の検討を行った。テーパー状構造作製の際、エッチング中のSiの上方からレーザー光を当て、その通過光を検出する方法を用いることで貫通確認を行った。また、ポリスチレン微粒子をAl上へ展開し、その上からTi堆積させ、規則的な凹凸テンプレートを形成することで、ポーラスアルミナの高規則化を試みた。