[18p-P5-1~22] 12.6 Nanobiotechnology

[18p-P5-20] stabilization of photonic crystal nanolaser sensor by low-temperature ald
temperature dependency of lasing threshold and chemical stability

〇Akihiro Sakata¹, Keisuke Watanabe¹, Toshihiko Baba¹ (1.Yokohama Natl Univ)

Keywords:atomic layer deposition, photonic crystal nanolaser, interface state

GaInAsPフォトニック結晶ナノレーザを用いたバイオセンシングでは，ナノレーザ表面にZrO₂を原子層堆積させることで，半導体の酸化やエッチングから保護している．今回はZrO₂の堆積温度を様々に変えてナノレーザの発振特性を網羅的に調べ，ZrO₂膜の化学耐性を調査した．低温では界面準位の生成を抑制することで，ナノレーザのしきい値が下がった．しかし，低温堆積は膜の密度が低く，化学的安定性が低いことがわかった．