[19a-B303-1~10] 1.6 超音波

△ [19a-B303-7] c軸傾斜配向ScAlN薄膜を用いた横波超音波の斜入射による液体試料のVHF帯粘弾性評価

〇(M1)山川 愉生^1,2、柳谷 隆彦^1,2,3 (1.早大院・先進理工、2.材研、3.JSTさきがけ)

キーワード：ScAlN、グリセリン、複素反射率