[19a-C103-1~12] 6.4 薄膜新材料

[19a-C103-11] 高速度鋼基板上へ形成したAlN硬質被膜の構造解析

〇吉田 智博¹、村澤 功基²、工藤 昌輝³、鳥山 誉亮³、内田 聖也⁴、福井 康雄²、櫻井 正俊²、吉武 剛⁴ (1.福岡県工技セ機電研、2.オーエスジー株式会社、3.九大超顕微セ、4.九大院総理工)

キーワード：AlN、硬質皮膜、ナノコンポジット