[19a-C104-1~12] 6.1 強誘電体薄膜

△ [19a-C104-2] 基本モード/高次モード切替可能な常誘電相PMN-PT/強誘電相PZT分極反転エピ膜共振子

〇(M1)清水 貴博^1,2、柳谷 隆彦^1,2,3 (1.早大院・先進理工、2.材研、3.JSTさきがけ)

キーワード：強誘電体、FBAR