[19a-C301-1~10] CS2 3.11 フォトニック構造・現象,3.12 ナノ領域光科学･近接場光学のコードシェアセッション

[19a-C301-10] メタ表面量子井戸赤外線検出器

〇宮崎 英樹¹、間野 高明¹、笠谷 岳士¹、大里 啓孝¹、渡邉 一弘¹、杉本 喜正¹、川津 琢也¹、新井 志大¹、重藤 暁津¹ (1.物材機構)

キーワード：メタ表面、量子井戸、赤外線検出器

波長5～10μmの中赤外線を高感度に検出できる低毒性検出器として、GaAs/AlGaAs量子井戸赤外線検出器(QWIP)を金属/誘電体/金属(MIM)共振器に組み込んだメタ表面QWIPを作製した。MIM共振器の電場回転効果と電場増強効果により、わずか1層の量子井戸にて、波長7.0μmで1.14A/Wの感度、20.1%の総合量子効率を実現した。