10:00 AM - 10:15 AM
△ [19a-D101-4] Study on Chemical Passivation of TiOx Passivating Layer/ Crystalline Si
Keywords:passivation, TiOx, crystalline silicon
結晶Si系太陽電池において、TiOxは電子選択層として機能し、高いパッシベーション効果を示すので注目を浴びている。熱処理によってパッシベーション効果が向上することが知られているが、その根源的なメカニズムは解明されていない。我々はTiOx/結晶Si界面の結合状態に着目した。算出したパッシベーション効果発現の活性化エネルギーの値を参考に、熱処理によるTiOx/結晶Si界面の結合状態の変化が重要であることを明らかにした。