[19a-D101-1~9] 16.3 シリコン系太陽電池

△ [19a-D101-4] TiO_x/結晶Si界面における化学パッシベーションの研究

〇望月 健矢¹、後藤 和泰¹、大田 晁生^1,2、小倉 正平³、黒川 康良¹、宮崎 誠一¹、福谷 克之³、宇佐美 徳隆¹ (1.名大院工、2.名大高等研究院、3.東大院工)

キーワード：パッシベーション、酸化チタン、結晶シリコン

結晶Si系太陽電池において、TiO_xは電子選択層として機能し、高いパッシベーション効果を示すので注目を浴びている。熱処理によってパッシベーション効果が向上することが知られているが、その根源的なメカニズムは解明されていない。我々はTiO_​x/結晶Si界面の結合状態に着目した。算出したパッシベーション効果発現の活性化エネルギーの値を参考に、熱処理によるTiO_x/結晶Si界面の結合状態の変化が重要であることを明らかにした。