[19a-E202-1~10] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [19a-E202-1] ラマン分光法によるGaN単結晶における貫通転位の歪み場解析

〇小久保 信彦^1,2、角岡 洋介^1,2、藤榮 文博¹、大原 淳士¹、恩田 正一¹、山田 永²、清水 三聡²、原田 俊太¹、田川 美穂¹、宇治原 徹^1,2 (1.名大、2.産総研 GaN-OIL)

キーワード：窒化ガリウム、転位、ラマン分光法

我々は、顕微ラマン分光法を用いて窒化ガリウム(GaN)単結晶の転位評価を行った。X線トポグラフィ・エッチングおよびシミュレーションの結果を、ラマン散乱光のE₂^Hピークにおけるシフトのマッピング像と対応させることで、マッピング像から貫通転位の刃状成分を決定することに成功した。さらに、TEM観察とマッピング測定結果が一致したことを確認している。また、機械学習により転位を高確率で分類することにも成功している。