[19a-E202-1~10] 15.4 III-V族窒化物結晶

[19a-E202-2] 多光子励起フォトルミネッセンス測定によるGaN結晶中の貫通転位の種別判定

〇谷川 智之¹、吉田 丈洋²、松岡 隆志¹ (1.東北大金研、2.サイオクス)

キーワード：GaN、多光子励起フォトルミネッセンス、貫通転位

多光子励起フォトルミネッセンス測定によりGaN結晶中の貫通転位を暗線として観察し、貫通転位の種別判定を試みた。溶融KOHを用いたエッチングによりサイズの異なるピットを形成し、暗線のコントラストや傾きと転位種との関係を調べた。暗線の性質は、コントラストや傾きにより分類でき、転位の種類と相関がみられた。この結果は、多光子励起フォトルミネッセンス観測が貫通転位の種別を判定できることを示している。