[19a-F306-1~12] 12.7 医用工学・バイオチップ

△ [19a-F306-8] マイクロ流体デバイスの信頼性向上の為の曲面形成プロセス

〇岡本 俊哉¹、浮田 芳昭¹ (1.山梨大院工)

キーワード：曲面形状、マイクロ流体デバイス、PDMS

マイクロ流体システムでは、寸法オーダーの異なる構造を繋ぎ合わせるために、しばしば流路径を大きく変化させる必要がある。寸法差が大きい場合には２次元の流路設計では対応できず、多段リソグラフィによる階段形状が用いられる。この場合、流路をプライミングする際に気体がトラップされ致命的な不具合が生じることがある。本研究では、PDMS製チップに曲面構造を形成するための鋳型を作製するリフロープロセスを検討した。