[19a-P6-1~79] 17 ナノカーボン（ポスター）

[19a-P6-4] カルコゲナイド系層状物質原子膜FETのガスセンサ応用 (3)

〇荻原 えりな¹、川上 信之²、上野 啓司¹ (1.埼玉大院理工、2.神戸製鋼応物研)

キーワード：ガスセンサ、電界効果トランジスタ、カルコゲナイド系層状物質

我々は前回，二テルル化モリブデン(MoTe₂)の電界効果トランジスタ(FET)が二酸化窒素(NO₂)とアンモニア(NH₃)に反応し，ガスセンサへの応用が可能であることを報告した。今回はそれに加えて，二硫化モリブデン(MoS₂)のFETを作製しガスセンサ応用を試みた。n型動作を示すMoS₂FETをNO₂に曝露するとドレイン電流値が減少し，N₂に曝露すると増加し，ガスセンサとして機能することが確認された。当日はMoS₂ FETのNH₃に対する応答や，他のFETセンサの特性も紹介する。