2018年第65回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

17 ナノカーボン » 17 ナノカーボン(ポスター)

[19a-P6-1~79] 17 ナノカーボン(ポスター)

2018年3月19日(月) 09:30 〜 11:30 P6 (ベルサール高田馬場)

09:30 〜 11:30

[19a-P6-7] 積層SAM/HfOxゲート絶縁膜を用いたMoS2 FETの作製

川那子 高暢1、居駒 遼1、大場 智明1、高木 寛之1 (1.東京工業大学)

キーワード:自己組織化単分子膜、二硫化モリブデン、電界効果トランジスタ