2018年第65回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

3 光・フォトニクス » 3.7 レーザープロセシング

[19p-A404-1~19] 3.7 レーザープロセシング

2018年3月19日(月) 13:15 〜 18:45 A404 (54-404)

吉田 岳人(阿南高専)、寺川 光洋(慶大)

13:15 〜 13:45

[19p-A404-1] [第8回女性研究者研究業績・人材育成賞(小舘香椎子賞)受賞記念講演] フェムト秒レーザー還元を用いた3次元金属/半導体微細構造の直接描画プロセスの研究

溝尻 瑞枝1 (1.名大)

キーワード:半導体