[19p-A404-1~19] 3.7 Laser processing

△ [19p-A404-10] Surface microfabrication of PDMS polymer using laser cavitation bubble

〇Tomoya Naruse¹, Yasutaka Hanada¹ (1.Hirosaki Univ.)

Keywords:cavitation bubble, nanosecond laser, thermosetting resin

汎用ナノ秒パルスレーザーを用いた熱硬化性ポリマーPDMSの特殊加工法を開発した。本手法は、ターゲットとなる金属板（銅板）に熱硬化前の液状PDMSを注ぎ、液相レーザーアブレーションを行うことで、銅板表面に半球状のキャビテーションバブルを発生させ、その後、PDMSを熱硬化させることでPDMS裏面にバブル形状を反映した加工痕を作製することが可能になる。よって、本講演では、開発を行った本手法の加工基本特性について報告する。