[19p-A404-1~19] 3.7 レーザープロセシング

△ [19p-A404-11] p-GaN上オーミック電極形成のためのフェムト秒レーザー照射方法の検討

〇片山 裕之¹、川上 博貴¹、今垣 諒彌¹、橋本 拓哉¹、山口 誠²、田中 康弘³、直井 美貴¹、岡田 達也¹、富田 卓朗¹ (1.徳島大工、2.秋田大理工、3.香川大工)

キーワード：フェムト秒レーザー、オーミック、電極