[19p-A404-1~19] 3.7 レーザープロセシング

△ [19p-A404-12] 液体窒素中でのパルスレーザー照射によるSiCの窒化

〇嶋林 正晴¹、金子 拓真¹、佐々木 浩一¹ (1.北大工)

キーワード：レーザーアブレーション、SiC