[19p-A404-1~19] 3.7 レーザープロセシング

[19p-A404-6] [講演奨励賞受賞記念講演] ベクトルビームを用いた微細穴あけ加工における偏光の効果

〇松坂 修吾¹、小澤 祐市¹、佐藤 俊一¹ (1.東北大多元研)

キーワード：ベクトルビーム、レーザー加工、偏光

本講演では、ベクトルビームを用いた微細穴あけ加工における偏光の効果について考察するために、従来ほとんど考慮されていなかった集光レンズの開口数に着目して、様々な条件における穴あけ加工を系統的に実施した結果について報告する。高開口数の集光レンズを用いて加工した場合、偏光による加工時間の差が大きく現れ、方位偏光ビームを用いると加工時間が著しく短くなることを明らかにした。