[19p-B303-1~18] 11.4 Analog applications and their related technologies

[19p-B303-8] Development of 1D-delay line superconducting strip X-ray imager

〇Chiharu Watanabe¹, Nobuyuki Zen¹, Go Fujii¹, Kazumasa Makise¹, Masahiro Ukibe¹, Masataka Ohkubo¹ (1.AIST)

Keywords:Superconductor thin film, X-ray Detector, Superconducting Strip Line Photon Detector

共鳴非弾性散乱法では、放射光光源からの高輝度X線で試料中の電子を共鳴励起し、その後の緩和過程で放出される軟X線を回折格子と半導体ベースの軟X線用CCDを組み合わせた波長分散方式を用いて高いエネルギー分解能で評価、物質中の電子状態の詳細解析を実現しているが、物性の詳細分析にはより高いエネルギー分解能が求められている。そこで、我々は空間分解能500 nmの1次元(1D)光子撮像素子の実現を目指し、大面積超伝導ストリップライン光子検出器(SSPD) の開発を行った。