[19p-B303-1~18] 11.4 Analog applications and their related technologies

[19p-B303-9] Fabrication of Superconducting Strip Photon Detector using MoN

Naoto Kirigane¹, Kentaro Fukao¹, Kento Sakai¹, Kou Ohnishi², Wakako Nakano², Daisuke Sakai¹, 〇Hiroyuki Shibata¹ (1.Kitami Inst., 2.Hokkaido Univ.)

Keywords:superconductor, single photon detector, strip

窒化モリブデン（MoN）を用いた超伝導単一光子検出器を作製した。MoNはNbNより電子－格子緩和時間が１桁以上大きいため、より高い検出効率が期待できる。厚さ7nm、幅150nmのメアンダ細線からなるデバイスの検出効率は、波長406nmで24%、1310nmで17%となった。高バイアス域では検出効率は飽和しており、内部検出効率は100%である。これらの結果からMoNはSSPD開発に有望な材料であることが判明した。