[19p-C104-1~19] 6.1 Ferroelectric thin films

[19p-C104-16] Fabrication and evaluation of (Bi, Na) TiO₃ - BaTiO₃ based thin film by using PLD method

〇(M1)Miyu Hasegaw¹, Takao Shimizu¹, Yussuke Sato², Wakiko Yamaoka², Mirai Ishida², Hiroshi Uchida³, Hiroshi Funakubo¹ (1.Tokyo Tech., 2.TDK corp., 3.Sophia Univ.)

Keywords:Ferroelectric, Piezoelectric, PLD

(1-x)(Bi,Na)TiO₃-xBaTiO₃強誘電体は広い組成範囲で、正方晶相となる強誘電体材料であるが、この系においてはモルフォトロピック相境界付近の組成に関する研究がほとんどである。本研究では、物理気相法の一種であるパルスレーザー堆積(PLD)法を用いて、広い組成において(Bi,Na)TiO₃-BaTiO₃系エピタキシャル膜の作製に成功し、強誘電特性を確認したので報告する。