[19p-C104-1~19] 6.1 強誘電体薄膜

[19p-C104-16] PLD法を用いた(Bi,Na)TiO₃-BaTiO₃系薄膜の作製と評価

〇(M1)長谷川 光勇¹、清水 荘雄¹、佐藤 祐介²、山岡 和希子²、石田 未来²、内田 寛³、舟窪 浩¹ (1.東工大物院、2.TDK 株式会社、3.上智大理工)

キーワード：強誘電体、圧電体、PLD

(1-x)(Bi,Na)TiO₃-xBaTiO₃強誘電体は広い組成範囲で、正方晶相となる強誘電体材料であるが、この系においてはモルフォトロピック相境界付近の組成に関する研究がほとんどである。本研究では、物理気相法の一種であるパルスレーザー堆積(PLD)法を用いて、広い組成において(Bi,Na)TiO₃-BaTiO₃系エピタキシャル膜の作製に成功し、強誘電特性を確認したので報告する。