[19p-C202-1~17] 17.3 層状物質

△ [19p-C202-5] 静電駆動型片持ち梁MoS₂の振動振幅制御

〇吉川 大貴¹、宮本 悠雅¹、竹井 邦晴¹、有江 隆之¹、秋田 成司¹ (1.大阪府大工)

キーワード：機械共振器

従来の光熱誘起法を用いた測定方法では、励振光の影響により共振特性に大きく影響を与えている。本研究では、平面基板上に展開した片持ち梁MoS₂-NEMSを作製し、交流バイアス(V_AC)および直流バイアス(V_DC)を重畳した静電引力による静電駆動を行うことで、励振光の影響を排除した状態での共振特性の制御について検討した。