[19p-C204-1~17] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[19p-C204-10] マイクロ波励起水中気泡内プラズマによるスピンオングラス膜の酸化改質処理の効果

〇藤澤 幸子¹、五十川 昌邦²、牧野 伸顕² (1.東芝マテリアル、2.東芝)

キーワード：プラズマ、表面改質