2018年第65回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

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[19p-C204-1~17] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

2018年3月19日(月) 13:45 〜 18:15 C204 (52-204)

林 久貴(東芝)、木原 嘉英(東京エレクトロン宮城)

15:00 〜 15:15

[19p-C204-6] アルゴンイオン照射によるフッ素化Si(111)表面の形態変化

浅野 敦紀1、〇堤 隆嘉1、近藤 博基1、石川 健治1、関根 誠1、堀 勝1 (1.名大)

キーワード:原子層エッチング、走査型顕微鏡、シリコン