2018年第65回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.6 IV族系化合物(SiC)

[19p-D103-1~17] 15.6 IV族系化合物(SiC)

2018年3月19日(月) 13:30 〜 18:00 D103 (56-103)

一色 俊之(京都工繊大)、西尾 譲司(東芝)

17:00 〜 17:15

[19p-D103-14] 4H-SiC非極性面の表面再結合速度の解析

章 心馳1、小濱 公洋1、市村 正也1、加藤 正史1 (1.名工大)

キーワード:半導体、SiC、表面再結合速度