[19p-E202-1~8] 窒化物半導体特異構造の科学　～格子欠陥はどこまで制御できるのか：先端評価と機能探索～

[19p-E202-8] 窒化物半導体中の格子欠陥が生み出す特異構造の３次元解析

〇酒井 朗¹、志田 和己¹、竹内 正太郎¹、藤平 哲也¹、今井 康彦²、木村 滋² (1.阪大院基礎工、2.JASRI)

キーワード：窒化物半導体、特異構造、ナノビームX線回折

我々は、窒化物半導体結晶中の転位、歪、ナノボイド等に着目し、ナノビームX線回折法を用いた構造解析的手法から特異構造としての機能を明らかにすべく研究を進めてきた。本講演では、こうした格子欠陥が生み出す特異構造に対する３次元構造解析技術について述べる。