[19p-F206-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

[19p-F206-10] 軟X線発光分光法と走査型電子顕微鏡を用いた光照射下でのアモルファス窒化炭素薄膜の電子状態測定

〇青野 祐美¹、阿部 洋¹、石井 信伍²、佐藤 庸平²、寺内 正己² (1.防衛大材料、2.東北大多元研)

キーワード：アモルファス窒化炭素、光誘起変形、軟X線発光分光

ある種のアモルファス窒化炭素薄膜では、可視光を吸収してその形状を変化させる光誘起変形が見られる。化学結合状態の異なるアモルファス窒化炭素を使った実験から、光電効果と光誘起変形はトレードオフの関係にあることがわかってきた。本研究では、アモルファス窒化炭素薄膜の電子状態に着目し、光照射下での軟Ｘ線発光分光（SXES）測定および走査型電子顕微鏡（SEM）観察を行った。