[19p-F206-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

[19p-F206-6] 角度可変FT-IRによるa-C:H膜の赤外光学定数評価

〇近藤 裕佑¹、日置 亜也子¹、筧 芳治¹、佐藤 和郎¹、沈 用球² (1.大阪技術研、2.大阪府大院工)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン、プラズマ支援気相成長法、フーリエ変換赤外分光光度計