[19p-F206-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

△ [19p-F206-7] 紫外，緑，および近赤外レーザーを用いた水素フリーおよび水素含有DLC膜のラマン分光分析

〇出貝 敏¹、針谷 達¹、谷本 壮¹、須田 善行¹、滝川 浩史¹、権田 英修²、神谷 雅男³、瀧 真⁴ (1.豊橋技科大、2.オーエスジーコーティングサービス、3.伊藤光学工業、4.オンワード技研)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン、ラマン分光分析

ダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜は水素フリーのta-C膜およびa-C膜，水素を含有したta-C:H膜およびa-C:H膜の4種に大別される。DLCの主要な膜評価法であるラマン分光分析では，レーザー波長を変えることでラマンスペクトルのピーク位置が変化する。本研究では，紫外（324 nm），緑（532 nm），近赤外（785 nm）波長のレーザーを用いた場合のラマンスペクトルから，各DLCの特徴付けを試みた。結果として，レーザー波長ごとに，DLCの膜質・組成による特徴が確認できた。