[19p-P1-1~10] 1.5 Instrumentation, measurement and Metrology

[19p-P1-8] Study on Response Non-uniformity of Laser Beam Profiling CCD Cameras

〇Takayuki Numata¹ (1.AIST/NMIJ)

Keywords:laser, beam profile, image sensor

レーザ光のビーム形状を正確に測定するには、ビームプロファイラ用カメラの受光面を構成する画素間の感度の均一性が前提となる。しかし、これまでに、Si基板をベースにしたCCD型のカメラでは、入射光波長や露光時間に依存して受光面の感度分布が変化することがわかってきた。そこで本研究では、このメカニズムについてCharge Leak Effectの観点から考察を進めると共に、この特性がビーム形状計測に与える影響について検討した。