[19p-P11-1~31] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[19p-P11-1] 有機金属分解法を用いて作製したSb添加SnO₂薄膜の構造・電気特性における膜厚依存性

〇川崎 祐久¹、澤畠 淳二¹ (1.茨城高専)

キーワード：SnO2、MOD