2018年第65回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

21 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」 » 21.1 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[19p-P11-1~31] 21.1 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

2018年3月19日(月) 16:00 〜 18:00 P11 (ベルサール高田馬場)

16:00 〜 18:00

[19p-P11-16] m 面sapphire 基板上に作製したalpha-Ga2O3 薄膜のTEM 観察

赤岩 和明1、太田 勝也1、関山 尊仁1、阿部 友紀1、四戸 孝2、市野 邦男1 (1.鳥取大学、2.FLOSFIA)

キーワード:酸化ガリウム、TEM解析