[19p-P4-1~15] 6.2 カーボン系薄膜

[19p-P4-1] エアスプレーを用いたカーボンチューブ薄膜の作製

〇金 勇一¹、西川 英一¹、渡辺 康之² (1.東理大工、2.諏訪東理大工)

キーワード：薄膜、カーボンナノチューブ

ＣＮＴ薄膜の作製方法としては、ロールツーロール法による直接塗布法や、電界を用いた静電塗布法などが知られている。本研究では、カーボンナノチューブ（以下、ＣＮＴ）の薄膜を簡単な方法により作製すべく、エアスプレーを用いたＣＮＴ薄膜の作製を検討した。
エアスプレーは、有機塗料などを空気圧により噴霧する装置であり、溶液を細かい粒子の状態でスプレーすることが可能であり、塗装の手段に主に陥られている。我々は、エアスプレーを用いて、ＣＮＴ溶液を空気圧により噴霧することで、ＣＮＴ薄膜を簡単な方法で作製することが可能であるか検討した。ｎ型単結晶シリコン基板上に、ＣＮＴ溶液をエアスプレー法により成膜したところ、均一なＣＮＴ薄膜を作製することが可能であった。ＣＮＴ薄膜の抵抗値を測定したところ、0.75Ω（シート抵抗3.4Ω／スクエア）と、良好な導電率であった。