[19p-P4-1~15] 6.2 カーボン系薄膜

[19p-P4-11] 同軸型アークプラズマ堆積法により負バイアスが印加された超鋼合金上に堆積される超ナノ微結晶ダイヤモンド膜の成長と機械特性

〇吉武 剛¹、モハメド アリ アリ^1,2、エギザ モハメド^1,3、村澤 功基^1,4、福井 康雄⁴、権田 英修⁴、櫻井 正俊⁴ (1.九大総理工、2.アル＝アズハル大、3.カフルシェイフ大、4.オーエスジー（株）)

キーワード：ナノ微結晶ダイヤモンド、負バイアス、硬質被膜

同軸型アークプラズマ堆積法を用いて，負バイアスが印加された超硬合金基板上に超ナノ微結晶タイヤモンド膜を堆積し，負バイアスの効果を調べた．硬度に大きな変化はなかったが，堆積速度が高まり，また8ミクロン以上の厚膜化と基板への付着強度が明らかに改善された．