[19p-P5-1~39] 6.3 Oxide electronics

△ [19p-P5-37] Development of a thin-film deposition system utilizing Bayesian optimization

〇(M1)Shigeru Kobayashi¹, Ryota Shimizu^1,2, Yasunobu Ando³, Kazunori Nishio¹, Taro Hitosugi¹ (1.Tokyo Tech, 2.JST-PRESTO, 3.AIST)

Keywords:bayesain optimization, solid electrolyte, lithium ion battery

実験の効率化に向けた取り組みが急務である。ベイズ最適化とロボット搬送システムを組み合わせれば、全自動で薄膜作製条件の最適化が可能であり、生産性向上に非常に有効だと考えられる。そこで我々のグループでは、そのような成膜システムを新たに構築し、高速な薄膜材料合成を目指している。その例として本報告ではLi₃PO_4-xN_y薄膜のイオン伝導度を、ベイズ最適化を用いて最大化する試みについて紹介する。