[19p-P6-1~17] 6.4 薄膜新材料

[19p-P6-13] サファイアr面上に成長したScN薄膜の構造と電子移動度

〇大垣 武¹、坂口 勲¹、大橋 直樹¹、羽田 肇¹ (1.物材機構)

キーワード：半導体、薄膜、窒化物