2018年第65回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

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[19p-P6-1~17] 6.4 薄膜新材料

2018年3月19日(月) 13:30 〜 15:30 P6 (ベルサール高田馬場)

13:30 〜 15:30

[19p-P6-4] RFマグネトロンスパッタで成膜したMoSi2-Si複合体薄膜の電気的特性と結晶構造

〇谷本 峻吾1、佐藤 祐喜1、大鉢 忠1、吉門 進三1 (1.同志社大院理工)

キーワード：MoSi2-Si複合体薄膜