[19p-P6-1~17] 6.4 Thin films and New materials

[19p-P6-7] Solid-phase crystallization of highly-oriented Bi₂VO_5+δ thin films by thermal treatment under uniaxial compression and characterization

〇(M1)Shoyo Ito¹, Ryotaro Nanba¹, Takanori Mimura¹, Satoru Kaneko^2,1, Hiroshi Funakubo¹, Akifumi Matsuda¹, Mamoru Yoshimoto¹ (1.Tokyo Tech. Materials, 2.Kanagawa Ind. Sci. Tech.)

Keywords:Bi-V-O thin films, Thermal treatment under uniaxial compression, Solid-phase crystallization

我々これまでに，非晶質の酸化バナジウム薄膜を面直に一軸加圧下熱処理し，印加圧力の制御によりVO₂(V⁴⁺)やV₂O₃(V³⁺)の相選択的固相エピタキシーを報告している。同様のプロセスによりBi-V-O系薄膜においても結晶相制御が期待できる。本研究では，Bi₂VO₅(V⁴⁺)エピタキシャル薄膜の作製とその物性を明らかにすることを目的として，Bi-V-O系薄膜の一軸加圧下熱処理が結晶相と配向性および誘電特性等へ及ぼす影響を検討した。