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[19p-P6-7] 一軸加圧下熱処理によるBi2VO5+δ薄膜の配向性固相結晶化と特性評価
キーワード:Bi-V-O系薄膜、一軸加圧下熱処理、固相結晶化
我々これまでに,非晶質の酸化バナジウム薄膜を面直に一軸加圧下熱処理し,印加圧力の制御によりVO2(V4+)やV2O3(V3+)の相選択的固相エピタキシーを報告している。同様のプロセスによりBi-V-O系薄膜においても結晶相制御が期待できる。本研究では,Bi2VO5(V4+)エピタキシャル薄膜の作製とその物性を明らかにすることを目的として,Bi-V-O系薄膜の一軸加圧下熱処理が結晶相と配向性および誘電特性等へ及ぼす影響を検討した。