[20a-B303-1~11] 7.2 Applications and technologies of electron beams

[20a-B303-5] Development of Graphene-Oxide-Semiconductor Planar-Type Electron Sources with High Emission Efficiency for Micro Ion Engines

〇(B)Ryo Furuya¹, Katsuhisa Murakami², Masayoshi Nagao², Yoshinori Takao¹ (1.YNU, 2.AIST)

Keywords:Graphene, Electron emission devices

超小型衛星の推進機に搭載可能な電子源として，金属酸化膜半導体を応用した平面型グラフェン電子源の製作を行った．電子電流密度や放出効率の計測を行った結果，印加電圧11 Vにおいて放出効率9.5%，電子電流密度55 mA/cmを達成した．本発表では製作過程と計測結果について報告する．