[20a-B401-1~6] 7.3 Micro/Nano patterning and fabrication

[20a-B401-5] Coarse-grain molecular dynamics simulation of vertical lamellar phase of diblock copolymer in a thin film (2)

〇Toru Yamaguchi¹, Hirotaka Tanaka¹, Nicolas Clement¹, Akira Fujiwara¹ (1.NTT BRL)

Keywords:lithography, block copolymer, simulation

ラメラ相が発現可能な最も小さいA₂B₂のバネ粒子モデルを用いて、薄膜中での垂直ラメラ相の粗視化分子動力学シミュレーションを行った。配向秩序相関長の時間依存性及び温度依存性について妥当な結果が得られた。このことは、配向秩序相関長の観点から、実験とシミュレーションの整合性をとるという新たなアプローチを提案できることを意味している。