[20a-B401-1~6] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[20a-B401-5] ブロック共重合体薄膜における垂直ラメラ相の粗視化分子動力学シミュレーション(2)

〇山口 徹¹、田中 弘隆¹、ニコラ クレメント¹、藤原 聡¹ (1.NTT物性基礎研)

キーワード：リソグラフィ、ブロック共重合体、シミュレーション

ラメラ相が発現可能な最も小さいA₂B₂のバネ粒子モデルを用いて、薄膜中での垂直ラメラ相の粗視化分子動力学シミュレーションを行った。配向秩序相関長の時間依存性及び温度依存性について妥当な結果が得られた。このことは、配向秩序相関長の観点から、実験とシミュレーションの整合性をとるという新たなアプローチを提案できることを意味している。