[20a-B401-1~6] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[20a-B401-6] ナノ秒パルスレーザー照射によるシリコン表面の複合ナノ構造

〇吉田 裕¹、大西 広²、松尾 保孝²、渡辺 精一³ (1.北見工大、2.北大電子研、3.北大エネマテ)

キーワード：ナノ秒パルスレーザー、電子線リソグラフィ