[20a-B403-1~10] 7.5 イオンビーム一般

[20a-B403-6] 反応性ガスクラスターインジェクションを用いた斜め2方向エッチングによる3D構造の作成

〇瀬木 利夫¹、山本 洋揮²、古澤 孝弘³、荘所 正⁴、小池 国彦⁴、青木 学聡⁵、松尾 二郎¹ (1.京大院工、2.量研、3.阪大産研、4.岩谷産業、5.京大メディアセンター)

キーワード：クラスター、中性ビーム、エッチング